Handbook of Sputter Deposition Technology : Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nanomaterials and MEMS

Wasa, Kiyotaka (EDT); Kanno, Isaku (EDT); Kotera, Hidetoshi (EDT)

ISBN 10: 1437734839 ISBN 13: 9781437734836
Editore: William Andrew, 2012
Lingua: Inglese
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