Improving Reliability of Tungsten Plug Via on an Integrated Circuitry : Process Flow in BiCMOS and CMOS technology with Failure Analysis,Design of Experiments,Statistical Analysis & Wafer Maps
Lingua: inglese
Editore: LAP LAMBERT Academic Publishing, 2016
- Brossura
- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - The failure of an electronic circuitry with Aluminum metal process due to electromigration degradation has been a continuous process of research and development in semiconductor industry. With the advent of Internet of Things (IoT) revolution in global semiconductor industry, there is an expected huge demand for analog ICs for healthcare, automotive and other consumer electronic applications. Analog ICs make use of Aluminum metal process as most of the analog applications do not need a state-of-the-art technology. Aluminum is not only cost effective in use but also easy to use in processing as compared to copper. However, Aluminum metal process is prone to electromigration failures. Hence, Electronic chips that make use of Aluminum metal process have to undergo rigorous tests for reliability related failures. When wafer yield becomes low due to electromigration related failures, it results into a huge loss for the semiconductor foundries because of the capital intensive nature of this business. Hence, Semiconductor Industry Professional should be equipped with detail process steps in order to improve the process yield including statistical analysis with Design of Experiments (DoE).…
Codice articolo 9783659947483
Dati bibliografici
- Titolo
- Improving Reliability of Tungsten Plug Via on an Integrated Circuitry : Process Flow in BiCMOS and CMOS technology with Failure Analysis,Design of Experiments,Statistical Analysis & Wafer Maps
- Autore
- Apek Mulay
- Editore
- LAP LAMBERT Academic Publishing
- Anno di pubblicazione
- 2016
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Taschenbuch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 3659947482
- ISBN 13
- 9783659947483
- Peso dell'articolo
- 268 grammi
- Dimensioni
- 220x150x11 mm
AHA-BUCH GmbH
Einbeck, Germania
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