An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Maluf, Nadim
ISBN 10: 0890065810 ISBN 13: 9780890065815
Editore: Artech House Publishers, 2000
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Riassunto:
Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.
Informazioni sull?autore: Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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Dati bibliografici
Titolo: An Introduction to Microelectromechanical ...
Casa editrice: Artech House Publishers
Data di pubblicazione: 2000
Legatura: Hardcover
Condizione: Fair
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Edizione: seconda edizione
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
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ISBN 10: 0890065810
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