Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Maluf, Nadim

ISBN 10: 0890065810 ISBN 13: 9780890065815

Editore: Artech House Publishers, 2000

Lingua: Inglese

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Dati bibliografici

Titolo

Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Editore

Artech House Publishers

Data di pubblicazione

2000

Lingua

Inglese

ISBN 10

0890065810

ISBN 13

9780890065815

Rilegatura

Rilegato

Edizione

seconda edizione

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Descrizione articolo

Riassunto

Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.

Informazioni sull?autore

Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Descrizione libreria

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