Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Maluf, Nadim

ISBN 10: 0890065810 ISBN 13: 9780890065815
Editore: Artech House, 1999
Usato Rilegato

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Riassunto:

Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.

Informazioni sull?autore: Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

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Dati bibliografici

Titolo: Introduction to Microelectromechanical ...
Casa editrice: Artech House
Data di pubblicazione: 1999
Legatura: Rilegato
Condizione: Good
Edizione: seconda edizione

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ISBN 10: 0890065810 ISBN 13: 9780890065815
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Hardcover. Condizione: Very Good. 2000; Boston; illustrated, glossy paper covered boards; light wear with some residue on front cover at the top corner; interior is clean and unmarked; 8vo, 7 3/4" to 9 3/4" tall; 265 pages. Codice articolo SKU1141037

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