An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Lingua: inglese
Editore: Artech House Nov 1999, 1999
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Neuware - A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.
Codice articolo 9780890065815
- Titolo
- An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
- Autore
- Nadim Maluf
- Editore
- Artech House Nov 1999
- Anno di pubblicazione
- 1999
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Buch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0890065810
- ISBN 13
- 9780890065815
- Edizione
- seconda edizione
- Peso dell'articolo
- 600 grammi
- Dimensioni
- 229x152x21 mm
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