An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Lingua: inglese

Editore: Artech House Publishers, US, 1999

0890065810 / 9780890065815

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A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

Codice articolo LU-9780890065815

Titolo
An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Autore
Nadim Maluf
Editore
Artech House Publishers, US
Anno di pubblicazione
1999
Condizione
New
Rilegatura
Hardback
Lingua
inglese
ISBN 10
0890065810
ISBN 13
9780890065815
Edizione
2nd.
Peso dell'articolo
600 grammi
Dimensioni
16.08 x 2.41 x 23.6 cm

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