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Da: Ria Christie Collections, Uxbridge, Regno UnitoRia Christie Collections
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Codice articolo ria9780470749838_new
- Titolo
- Introduction to Microfabrication
- Autore
- Franssila, Sami
- Editore
- Wiley
- Anno di pubblicazione
- 2010
- Condizione
- New
- Rilegatura
- Rilegato
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0470749830
- ISBN 13
- 9780470749838
- Edizione
- seconda edizione
This second edition includes:
- expanded sections on MEMS and microfluidics related fabrication issues
- new chapters on polymer and glass microprocessing, as well as serial processing techniques
- 200 completely new and 200 modified figures
- more coverage of imprinting techniques, process integration and economics of microfabrication
- 300 homework exercises including conceptual thinking assignments, order of magnitude estimates, standard calculations, and device design and process analysis problems
- solutions to homework problems on the complementary website, as well as PDF slides of the figures and tables within the book
With clear sections separating basic principles from more advanced material, this is a valuable textbook for senior undergraduate and beginning graduate students wanting to understand the fundamentals of microfabrication. The book also serves as a handy desk reference for practicing electrical engineers, materials scientists, chemists and physicists alike.
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Informazioni sull’autore
Sami Franssila has taught courses on microfluidics, bioMEMs, microsystems, nanoscience, silicon microtechnology and thin-film technology at Helsinki University of Technology since 1998. He is group leader of the Microfabrication group at Micronova, the Centre for Micro and Nanotechnology which is run jointly by the VTT Technical Research Centre of Finland and Helsinki University of Technology.
Professor Franssila researches into micro- and nanofabrication for fluidic, chemical and biological devices, chemical microsystems and thin film technology.
He has authored or co-authored over 60 peer reviewed articles, 120 international conference papers and written one textbook Introduction to Microfabrication, published by John Wiley & Sons in 2004.
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Ria Christie Collections
Uxbridge, Regno Unito
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