Introduction to Microlithography: Theory, Materials, and Processing
Lingua: inglese
Editore: American Chemical Society, 1983
- Rilegato
- Usato
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Hardcover; ACS Symposium Series 219; based on a workshop sponsored by the A CS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 20-25, 1983; light fading, light shelf wear to exterior; former owner's stamping on fron t end page and lower page edges; otherwise in very good condition with cle an text and tight binding. Dust jacket shows fading, edge wear, and a few s mall tears.
Codice articolo 74736
- Titolo
- Introduction to Microlithography: Theory, Materials, and Processing
- Autore
- Thompson, L.F., C.G. Willson, And M.J. Bowden, Editors
- Editore
- American Chemical Society
- Anno di pubblicazione
- 1983
- Condizione
- UsedGood
- Rilegatura
- Hardcover
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0841207755
- ISBN 13
- 9780841207752
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