Introduction to Microlithography

Lingua: inglese

Editore: American Chemical Society, 1994

0841228485 / 9780841228481

Da: moluna, Greven, Germaniamoluna

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Reviews the theory, materials and processes that are used in the lithographic process. It opens with a brief historical introduction to microlithography, and then discusses four major topics - the physics of the lithographic process, organic resist material.

Codice articolo 595088890

Titolo
Introduction to Microlithography
Autore
Thompson, Larry F.
Editore
American Chemical Society
Anno di pubblicazione
1994
Condizione
New
Rilegatura
Gebunden
Lingua
inglese
ISBN 10
0841228485
ISBN 13
9780841228481
Edizione
seconda edizione

moluna

Greven, Germania

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