Introduction to Microlithography

Lingua: inglese

Editore: American Chemical Society, Washington, DC, 1994

0841228485 / 9780841228481

Da: Xochi's Bookstore & Gallery, truth or consequences, NM, U.S.A.Xochi's Bookstore & Gallery

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527pp.incl.index; HB blue w/white; some rub w/wear on edges; PONft.pastedwn.; clean,tight pgs. " . the physics of the lithographic process, organic resist materials, resist processing, and plasma etching." illus.

Codice articolo 024349

Titolo
Introduction to Microlithography
Autore
Thompson, Larry F.; Willson, C. Grant; & Bowden, Murrae J. (eds)
Editore
American Chemical Society, Washington, DC
Anno di pubblicazione
1994
Condizione
Very Good
Sovraccoperta
No Jacket
Rilegatura
Hardcover
Lingua
inglese
ISBN 10
0841228485
ISBN 13
9780841228481
Edizione
2nd
Dimensioni
8vo - over 7¾" - 9¾" tall
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