Over half a century after the discovery of the piezoresistive effect, microsystem technology has experienced considerable developments. Expanding the opportunities of microelectronics to non-electronic systems, its number of application fields continues to increase. Microsensors are one of the most important fields, used in medical applications and micromechanics. Microfluidic systems are also a significant area, most commonly used in ink-jet printer heads.

This textbook focuses on the essentials of microsystems technology, providing a knowledgeable grounding and a clear path through this well-established scientific dicipline. With a methodical, student-orientated approach, Introduction to Microsystem Technology covers the following:

microsystem materials (including silicon, polymers and thin films), and the scaling effects of going micro;
fabrication techniques based on different material properties, descriptions of their limitations and functional and shape elements produced by these techniques;
sensors and actuators based on elements such as mechanical, fluidic, and thermal (yaw rate sensor components are described);
the influence of technology parameters on microsystem properties, asking, for example, when is the function of a microsystem device robust and safe?

The book presents problems at the end of each chapter so that you may test your understanding of the key concepts (full solutions for these are given on an accompanying website). Practical examples are included also, as well as case studies that enable a better understanding of the technology as a whole. With its extensive treatment on the fundamentals of microsystem technology, this book also serves as a compendium for engineers and technicians working with microsystem technology.

Informazioni sull?autore

Gerald Gerlach is currently a Professor for Solid-state Sensors at the Dresden University of Technology, Germany, a post he has held since 1996. His research interests include micromachined solid-state sensors (pressure, humidity, chemical) and sensor fabrication techniques, and he teaches courses in Microtechnology and Sensors. He has also held positions as a Researcher at different German companies making micromachined pressure sensors for biomedical applications, and is active in the sensor and measuring technology fields, having been Chairman of the German Association of University Professors in Measuring Technology (AHMT) and Vice-President of the German Society for Measurement and Control (GMA) since 2002. He has co-authored the German version of this book Einf�hrung in die Mikrosystemtechnik (Hanser, 2006) and has contributed chapters to the book Functional Elements in Precision Engineering (Hanser) and Fabrication in Precision Engineering and Microtechnology (Hanser, 1995). He has also written over 250 journal and conference papers, and holds more than 35 patents.

Wolfram D�tzel is currently Professor for Microsystems and Precision Engineering at Chemnitz University of Technology, also holding the position of Vice-President for Research at the university. His main research fields are in the modelling, design and simulation of micromechanical components, characterization and testing of micromechanical components by experimental methods, and adaptation of methods and principles of precision engineering for microsystems. He teaches courses in Microsystems, reliability and the design of devices and has previously co-authored Einf�hrung in die Mikrosystemtechnik (Hanser, 2006) with Gerald Gerlach. He has also authored a chapter in the book Manual of Data Acquisition (Verlag Technik, 1984), more than 130 publications in journals and conference proceedings on micromechanical and precision engineering components as well as modelling, simulation, and characterization, and holds 8 patents.

Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

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Diritto di recesso

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Informazioni relative al diritto di recesso

Diritto di recesso

Hai il diritto di recedere dal presente contratto, senza indicarne le ragioni, entro 14 giorni.

Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui

tu acquisisci, o un terzo designato diverso dal vettore e da te acquisisce, il possesso fisico dell'ultimo bene o l'ultimo lotto o pezzo.

Per esercitare il diritto di recesso, sei tenuto a informare Brook Bookstore On Demand, Via Vannella Gaetani 27, Brandon Group, 80121, Napoli, NA, Italy, +39 3485885209, della tua decisione di recedere dal presente contratto tramite una dichiarazione esplicita (ad esempio lettera inviata per posta, fax o posta elettronica). A tal fine puoi utilizzare il modulo tipo di recesso, ma non e' obbligatorio. Puoi anche compilare e inviare elettronicamente il modulo tipo di recesso o qualsiasi altra esplicita dichiarazione sul nostro sito web, dalla sezione "Ordini" nel "Mio Account". Nel caso scegliessi questa opzione, ti trasmetteremo senza indugio una conferma di ricevimento su un supporto durevole (ad esempio per posta elettronica).

Per rispettare il termine di recesso, � sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso.

Effetti del recesso

Se recedi dal presente contratto, ti saranno rimborsati tutti i pagamenti che hai effettuato a nostro favore, compresi i costi di consegna (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di consegna diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto). Potremo trattenere dal rimborso le somme derivanti da una diminuzione del valore del prodotto risultante da una tua non necessaria manipolazione.

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