Laser Annealing Processes in Semiconductor Technology : Theory, Modeling and Applications in Nanoelectronics
Lingua: inglese
Editore: Elsevier Inc, 2021
Serie: Libro 150 di 203 - Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials
- Brossura
- Nuovo

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Laser Annealing Processes in Semiconductor Technology: Theory, Modeling and Applications in Nanoelectronics synthesizes the scientific and technological advances of laser annealing processes for current and emerging nanotechnologies. The book provides an overview of the laser-matter interactions of materials and recent advances in modeling of laser-related phenomena, with the bulk of the book focusing on current and emerging (beyond-CMOS) applications. Reviewed applications include laser annealing of CMOS, group IV semiconductors, superconducting materials, photonic materials, 2D materials. This comprehensive book is ideal for post-graduate students, new entrants, and experienced researchers in academia, research and development in materials science, physics and engineering.
Codice articolo 9780128202555
- Titolo
- Laser Annealing Processes in Semiconductor Technology : Theory, Modeling and Applications in Nanoelectronics
- Autore
- Fuccio Cristiano
- Editore
- Elsevier Inc
- Anno di pubblicazione
- 2021
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Taschenbuch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0128202556
- ISBN 13
- 9780128202555
- Peso dell'articolo
- 571 grammi
- Dimensioni
- 229x152x22 mm
- Serie
- Libro 150 di 203: Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials
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Informazioni sull’autore
His research interests concern the investigation of advanced doping techniques in semiconductors (with special focus on ultra-rapid thermal processes) and the impact of process-related defects on dopant activation anomalies. He has authored or coauthored about 130 papers in scientific journals and has given several invited presentations on Ion beam induced defects in silicon.
Antonino La Magna received his master’s in physics (cum laude) and his Ph.D. in Physics at the University of Catania in1992 and 1996, respectively. Since 1999, he has been a member of the permanent staff at the Institute for the Microelectronics and Microsystems of the Italian National Council of Research (CNR-IMM), where he is responsible of the computational team and resources (1999-Today). Currently, he also leads the research group on advanced processes (2010-Today). He is and has been coordinator and responsible for the CNR-IMM of several international projects and contract research on behalf of industry.
He has authored over more than 270 publications in international journals in the fields of theoretical solid state physics, technological processes and process and device simulations, and he is a frequently invited speaker at international conferences.
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