MEMS/NEMS Devices and Applications, 2nd Edition
Lingua: inglese
Editore: MDPI AG, 2026
- Rilegato
- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This Reprint presents recent advances in nanoelectromechanical system (NEMS)- and microelectromechanical system (MEMS)-based devices and their applications. The collected articles cover the design, fabrication, characterization, and application of various MEMS/NEMS-based devices, including physical sensors, chemical sensors, biosensors, gas sensors, optical sensors, flow sensors, actuators, resonators, switches, micromirrors, and energy harvesters. The contributions highlight the rapid development of MEMS/NEMS technologies for miniaturized, high-performance, and low-power microsystems. The published works also demonstrate the integration of advanced materials, microfabrication techniques, and CMOS-compatible processes for emerging sensing and actuator applications. This Reprint provides researchers, engineers, and graduate students with an overview of the current trends and future directions in MEMS/NEMS technologies and their multidisciplinary applications.…
Codice articolo 9783725880836
- Titolo
- MEMS/NEMS Devices and Applications, 2nd Edition
- Editore
- MDPI AG
- Anno di pubblicazione
- 2026
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Buch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 3725880832
- ISBN 13
- 9783725880836
- Peso dell'articolo
- 690 grammi
- Dimensioni
- 250x175x17 mm
This Reprint presents recent advances in nanoelectromechanical system (NEMS)- and microelectromechanical system (MEMS)-based devices and their applications. The collected articles cover the design, fabrication, characterization, and application of various MEMS/NEMS-based devices, including physical sensors, chemical sensors, biosensors, gas sensors, optical sensors, flow sensors, actuators, resonators, switches, micromirrors, and energy harvesters. The contributions highlight the rapid development of MEMS/NEMS technologies for miniaturized, high-performance, and low-power microsystems. The published works also demonstrate the integration of advanced materials, microfabrication techniques, and CMOS-compatible processes for emerging sensing and actuator applications. This Reprint provides researchers, engineers, and graduate students with an overview of the current trends and future directions in MEMS/NEMS technologies and their multidisciplinary applications.
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Einbeck, Germania
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