MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application (Paperback or Softback)

Koley, Goutam

ISBN 10: 3039216341 ISBN 13: 9783039216345

Editore: Mdpi AG 11/20/2019, 2019

Lingua: Inglese

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MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application 1.16.

Codice articolo BBS-9783039216345

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Titolo

MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application (Paperback or Softback)

Editore

Mdpi AG 11/20/2019

Data di pubblicazione

2019

Lingua

Inglese

ISBN 10

3039216341

ISBN 13

9783039216345

Rilegatura

Paperback or Softback

Condizione

New

Tipo di libro

Book

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Descrizione articolo

Riassunto

Due to the ever-expanding applications of micro/nano-electromechanical systems (NEMS/MEMS) as sensors and actuators, interest in their development has rapidly expanded over the past decade. Encompassing various excitation and readout schemes, the MEMS/NEMS devices transduce physical parameter changes, such as temperature, mass or stress, caused by changes in desired measurands, to electrical signals that can be further processed. Some common examples of NEMS/MEMS sensors include pressure sensors, accelerometers, magnetic field sensors, microphones, radiation sensors, and particulate matter sensors.

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