This significant and uniquely comprehensive five-volume reference is a valuable source for research workers, practitioners, computer scientists, students, and technologists. It covers all of the major topics within the subject and offers a comprehensive treatment of MEMS design, fabrication techniques, and manufacturing methods. It also includes current medical applications of MEMS technology and provides applications of MEMS to opto-electronic devices. It is clearly written, self-contained, and accessible, with helpful standard features including an introduction, summary, extensive figures and design examples with comprehensive reference lists.

Dalla quarta di copertina

Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate. While the electronics are fabricated using integrated circuit (IC) process sequences (e.g., CMOS, Bipolar, or BICMOS processes), the micromechanical components are fabricated using compatible micromachining processes that selectively etch away parts of the silicon wafer or add new structural layers to form the mechanical and electromechanical devices. MEMS promises to revolutionize nearly every product category by bringing together silicon-based microelectronics with micromachining technology, thereby, making possible the realization of complete systems-on-a-chip.

Microelectromechanic systems will revolutionize the design of electronics products and enable the creation of entirely new product categories. Through miniaturization, batch fabrication, and integration with electronics, this technology will enable the development of smart products by providing the required interface between the available computational power and physical world through the perception and control capabilities of micro devices or systems (e.g., microsensors and microactuators). Micromechanical devices and systems are inherently smaller, lighter and faster than their macroscopic counterparts, and in many cases are also more precise. MEMS devices are emerging as a product differentiators in numerous markets. MEMS technology is expected to have enormous opportunities in the commercial markets due to the low-cost, high functionality, and small size and weight of the devices. MEMS technology allows much more functionality to be placed within a given space than conventional technologies.

A special class of MEMS is optical MEMS technology, also referred to as MOEMS (Micro Optical Mechanical Systems). MOEMS have become increasingly important in the development of many networks, telecommunications and optical systems. Potential MOEMS applications include optical data storage, optical sensors, bead mounted displays and projection systems. State-of-the-art devices include torsional mirrors, digital micromirror devices, laser scanners, optical shutters, microooptical switches, and micromachined corner cube reflectors.

Nanoelectromechanical systems (NEMS) are MEMS scaled to submicrometer dimensions, to exploit the mechanical degree of freedom on the nanometer scale. In this size regime, it is possible to attain extremely high fundamental frequencies while simultaneously preserving high mechanical responsivity. This combination of attributes translates directly into high force sensitivity, operability at ultra-low power, and the ability to induce non-linearity with very modest control forces, leading to potential payoffs in a diverse range of fields from medicine to biotechnology.

The MEMS/NEMS HANDBOOK consists of five volumes and will provide a significant and uniquely comprehensive reference source for research workers, practitioners, computer scientists, students, technologists and others on the international scene for years to come:

(1) MEMS/NEMS Design Methods in MEMS/NEMS

(2) Fabrication Techniques in MEMS/NEMS

(3) Manufacturing Methods

(4) Sensors & Actuators

(5) Medical Applications and MOEMS

This landmark work features contributions from more than 100 of the world's foremost authorities on the key technologies and the greatly significant application areas of MEMS/NEMS. The contributors come from industry, government and academia.

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Se sei un consumatore, puoi esercitare il tuo diritto di recesso seguendo le istruzioni riportate di seguito. Per "consumatore" si intende qualsiasi persona fisica che agisca per fini che non rientrano nel quadro della sua attivit� commerciale, industriale, artigianale o professionale.

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Diritto di recesso

Hai il diritto di recedere dal presente contratto, senza indicarne le ragioni, entro 14 giorni.

Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui

tu acquisisci, o un terzo designato diverso dal vettore e da te acquisisce, il possesso fisico dell'ultimo bene o l'ultimo lotto o pezzo.

Per esercitare il diritto di recesso, sei tenuto a informare Majestic Books, 315 Chiswick High Road, W4 4HH, London, ,, United Kingdom, +44 02085704746, della tua decisione di recedere dal presente contratto tramite una dichiarazione esplicita (ad esempio lettera inviata per posta, fax o posta elettronica). A tal fine puoi utilizzare il modulo tipo di recesso, ma non e' obbligatorio. Puoi anche compilare e inviare elettronicamente il modulo tipo di recesso o qualsiasi altra esplicita dichiarazione sul nostro sito web, dalla sezione "Ordini" nel "Mio Account". Nel caso scegliessi questa opzione, ti trasmetteremo senza indugio una conferma di ricevimento su un supporto durevole (ad esempio per posta elettronica).

Per rispettare il termine di recesso, � sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso.

Effetti del recesso

Se recedi dal presente contratto, ti saranno rimborsati tutti i pagamenti che hai effettuato a nostro favore, compresi i costi di consegna (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di consegna diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto). Potremo trattenere dal rimborso le somme derivanti da una diminuzione del valore del prodotto risultante da una tua non necessaria manipolazione.

I rimborsi verranno effettuati senza indebito ritardo e in ogni caso non oltre 14 giorni dal giorno in cui siamo stati informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.

Detti rimborsi saranno effettuati utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente convenuto altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso. Il rimborso pu� essere sospeso fino al ricevimento dei beni oppure fino all'avvenuta dimostrazione da parte tua di aver rispedito i beni, se precedente.

Ti preghiamo di rispedire i beni o di consegnarli a Majestic Books, 315 Chiswick High Road, W4 4HH, London, ,, United Kingdom, +44 02085704746, senza indebiti ritardi e in ogni caso entro 14 giorni dal giorno in cui hai comunicato il tuo recesso dal presente contratto. Il termine � rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione del bene diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni.

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Modulo di recesso tipo

(Compilare e restituire il presente modulo solo se si desidera recedere dal contratto)

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