Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting

Lingua: inglese

Editore: Springer, 2015

3662488140 / 9783662488140

Serie: Libro 73 di 797 - Springer Theses

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Zustand: Sehr gut | Sprache: Englisch | Produktart: Bücher | This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials. This fabrication technology has been systematically investigated by using experimental measurements, mechanism analyses, theoretical simulations and so on. Three common materials (i.e., silicon, PDMS and Parylene-C) with micro/nano hierarchical structures have been successfully fabricated, which also show several attractive properties. Furthermore, this book introduces this fabrication technology into microenergy field, and proposes several high-performance nanogenerators, of which practical applications have also been studied in commercial electronic device and biomedical microsystem.

Codice articolo 26214885/12

Titolo
Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting
Autore
Zhang, Xiao-Sheng
Editore
Springer
Anno di pubblicazione
2015
Condizione
Sehr gut
Rilegatura
Rilegato
Lingua
inglese
ISBN 10
3662488140
ISBN 13
9783662488140
Serie
Libro 73 di 797: Springer Theses
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