Microlithography
Venduto da moluna, Greven, Germania
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Aggiungere al carrelloBruce W. Smith is a Distinguished Professor of engineering at the Rochester Institute of Technology. He has been involved in teaching and research in microelectronic and microsystems engineering for over 35 years. His areas of research include semiconduc.
Codice articolo 1587477099
The completely revised Third Edition to the bestselling Microlithography: Science and Technology provides a balanced treatment of theoretical and operational considerations, from fundamental principles to advanced topics of nanoscale lithography. The book is divided into chapters covering all important aspects related to the imaging, materials, and processes that have been necessary to drive semiconductor lithography toward nanometer-scale generations. Renowned experts from the world�€�s leading academic and industrial organizations have provided in-depth coverage of the technologies involved in optical, deep-ultraviolet (DUV), immersion, multiple patterning, extreme ultraviolet (EUV), maskless, nanoimprint, and directed self-assembly lithography, together with comprehensive descriptions of the advanced materials and processes involved.
New in the Third Edition
In addition to the full revision of existing chapters, this new Third Edition features coverage of the technologies that have emerged over the past several years, including multiple patterning lithography, design for manufacturing, design process technology co-optimization, maskless lithography, and directed self-assembly. New advances in lithography modeling are covered as well as fully updated information detailing the new technologies, systems, materials, and processes for optical UV, DUV, immersion, and EUV lithography.
The Third Edition of Microlithography: Science and Technology authoritatively covers the science and engineering involved in the latest generations of microlithography and looks ahead to the future systems and technologies that will bring the next generations to fruition.
Loaded with illustrations, equations, tables, and time-saving references to the most current technology, this book is the most comprehensive and reliable source for anyone, from student to seasoned professional, looking to better understand the complex world of microlithography science and technology.
Bruce W. Smith is a Distinguished Professor of engineering at the Rochester Institute of Technology. He has been involved in teaching and research in microelectronic and microsystems engineering for over 35 years. His areas of research include semiconductor processing, deep ultraviolet (DUV), vacuum ultraviolet (VUV), immersion, and extreme ultraviolet (EUV) lithography, thin films, optics, and microelectronic materials. He has authored over 250 technical publications, given over 100 technical talks, and received over 25 patents, licensing his technology both nationally and internationally. He has worked extensively with individuals and organizations in the semiconductor industry, including industrial partners in the Semiconductor Research Corporation, SEMATECH, and the IMEC. He is the recipient of numerous teaching and research awards, including the Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) Technical Excellence Award, the American Vacuum Society (AVS) Excellence in Leadership Award, the Society for Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) Research Mentoring Award, and the Rochester Institute of Technology Trustees Scholarship Award. He has also been inducted into the Rochester Institute of Technology Innovator Hall of Fame. Professor Smith is a Fellow of the Institute of Electrical and Electronics Engineers, the Optical Society of America, and the Society for Photo-optical Instrumentation Engineers.
Kazuaki Suzuki majored in plasma physics and X-ray astronomy in the University of Tokyo, Japan. He has been a project manager for developing new concept exposure tools at Nikon Corporation, such as the early-generation KrF excimer laser stepper, the first-generation KrF excimer laser scanner, the electron beam projection exposure system, and the full-field extreme ultraviolet scanner. He received his Ph. D. in Precision Engineering from the University of Tokyo about the system design of exposure tools for microlithography. He has authored and coauthored many papers in the field of exposure tool and related technologies, including advanced equipment control by using metrology data. He also holds numerous patents in the same field. In the first decade of this century, he was a member of the program committee of the Society for Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) Microlithography and other international conferences such as Micro & Nano Engineering in Europe and the International Microprocesses and Nanotechnology Conference in Japan. He was one of the associate editors of Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) from 2002 to 2009. He moved to Tokyo Tech Academy for Convergence of Materials and Informatics at Tokyo Institute of Technology (Tokyo Tech) in March 2019.
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Il presente contratto può essere rescisso entro 1 mese senza obbligo di specificarne i motivi.
Il termine di revoca è di 1 mese a partire dalla data
in cui voi o un terzo da voi nominato, che non è il trasportatore, avete o ha preso in consegna la merce, qualora abbiate ordinato una o più merci nell'ambito di un ordine unico e queste merci vengano consegnate in un unica fornitura;
in cui voi o un terzo da voi nominato, che non è il trasportatore, avete o ha preso in consegna l'ultima merce, qualora abbiate ordinato più merci nell'ambito di un ordine unico e queste vengano consegnate separatamente;
in cui voi o un terzo da voi nominato, che non è il trasportatore, avete o ha preso in consegna l'ultima fornitura parziale o l'ultimo pezzo, qualora abbiate ordinato una merce che viene consegnata in diverse forniture parziali o pezzi;
Per esercitare il vostro diritto di recesso, dovete informarci (Moluna GmbH, Münsterstr. 105, 48268 Greven, Numero di telefono: 02571/5 69 89 33, Numero di fax: 02571/5 69 89 30, Indirizzo E-Mail: abe@moluna.de) mediante una dichiarazione univoca (p. es. una lettera postale, un fax o una e-mail) relativa alla vostra decisione di rescindere il contratto. A tale proposito potete utilizzare il facsimile del modello di lettera di revoca allegato che però non è prescritto.
Al fine dell'osservanza del termine di revoca è sufficiente che la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso venga spedita prima della scadenza del termine di revoca.
Conseguenze del recesso
Qualora rescindiate il presente contratto, abbiamo l'obbligo di restituirvi tutti i pagamenti che abbiamo ricevuto da voi, comprese le spese di spedizione (eccetto i costi aggiuntivi che risultano dal fatto che abbiate scelto un termine di consegna diverso dalla consegna standard più vantaggiosa da noi offerta), immediatamente e al più tardi entro 14 giorni dalla data in cui ci è pervenuta la comunicazione relativa alla vostra revoca del presente contratto. Per questa restituzione utilizziamo la stessa modalità di pagamento che avete usato al momento della transazione originaria, salvo diversamente concordato esplicitamente; in nessun caso vi verranno addebitati costi per tale restituzione.
Noi possiamo rifiutare di restituire il pagamento fino a quando abbiamo ricevuto la merce oppure fino a quando ci portate la prova che avete spedito indietro la merce, a seconda di qual è il momento antecedente.
Voi dovete spedirci o consegnarci la merce immediatamente e in ogni caso al più tardi entro 14 giorni a partire dalla data in cui ci informate circa la revoca del presente contratto . Il termine viene concesso se spedite la merce prima della scadenza del termine di 14 giorni.
Voi assumete i costi indiretti della restituzione delle merci.
Voi siete responsabili per eventuali perdite di valore delle merci, solo se tale perdita è riconducibile un trattamento delle stesse non necessario al fine del controllo della consistenza, delle caratteristiche e della modalità di funzionamento.
Motivi di esclusione o cancellazione
Il diritto di revoca non è previsto per contratti
relativi alla fornitura di merci che non sono prefabbricate e per la produzione delle quali è determinante una scelta o determinazione individuale da parte del consumatore oppure che sono evidentemente adattate alle esigenze personali del consumatore;
relativi alla fornitura di merci che si deteriorano rapidamente o la cui data di scadenza verrebbe rapidamente superata;
relativi a bevande alcoliche il cui presso è stato concordato al momento della stipula del contratto, ma che potrebbero essere consegnate al più presto 30 giorni dalla data della stipula del contratto e il valore attuale delle quali dipende dalle oscillazioni sul mercato sulle quali l'imprenditore non ha influsso;
relativi alla fornitura di giornali, riviste o illustrati, ad eccezione di contratti di abbonamento.
Il diritto di revoca decade prima del tempo per contratti
relativi alla fornitura di merci che, per motivi della tutela della salute o di igiene, non sono adatti alla restituzione, se il sigillo è stato rimosso dopo la consegna;
relativi alla fornitura di merci, se questi dopo la consegna sono stati mischiati con altri beni in modo inseparabile a causa della loro consistenza;
relativi alla fornitura di registrazioni audio o video o software di computer in una confezione sigillata, se il sigillo è stato rimosso dopo la consegna.
Fac simile modello di revoca
(Qualora desideriate rescindere il contratto, vi preghiamo di restituire il presente modulo debitamente compilato.)
Alla Moluna GmbH, Engberdingdamm 27, 48268 Greven, Numero di fax: 02571/5 69 89 30, Indirizzo e-mail: abe@moluna.de :
Con la presente io sottoscritto/noi sottoscritti rescindo/rescindiamo il contratto da me/da noi stipulato in relazione all'acquisto delle seguenti merci ()/
all'esecuzione dei seguenti servizi ()
Ordinati il ()/ ricevuti il ()
Nome del consumatore
Indirizzo del consumatore
Firma del consumatore (solo in caso di comunicazione cartacea)
Data
(*) Sbarrare le indicazioni non corrispondenti.
II. Kundeninformationen
Moluna GmbH
Engberdingdamm 27
48268 Greven
Deutschland
Telefon: 02571/5698933
E-Mail: abe@moluna.de
Wir sind nicht bereit und nicht verpflichtet, an Streitbeilegungsverfahren vor Verbraucherschlichtungsstellen teilzunehmen.
Die technischen Schritte zum Vertragsschluss, der Vertragsschluss selbst und die Korrekturmöglichkeiten erfolgen nach Maßgabe der Regelungen "Zustandekommen des Vertrages" unserer Allgemeinen Geschäftsbedingungen (Teil I.).
3.1. Vertragssprache ist deutsch .
3.2. Der vollständige Vertragstext wird von uns nicht gespeichert. Vor Absenden der Bestellung können die Vertragsdaten über die Druckfunktion des Browsers ausgedruckt oder elektronisch gesichert werden. Nach Zugang der Bestellung bei uns werden die Bestelldaten, die gesetzlich vorgeschriebenen Informationen bei Fernabsatzverträgen und die Allgemeinen Geschäftsbedingungen nochmals per E-Mail an Sie übersandt.
Die wesentlichen Merkmale der Ware und/oder Dienstleistung finden sich im jeweiligen Angebot.
5.1. Die in den jeweiligen Angeboten angeführten Preise sowie die Versandkosten stellen Gesamtpreise dar. Sie beinhalten alle Preisbestandteile einschließlich aller anfallenden Steuern.
5.2. Die anfallenden Versandkosten sind nicht im Kaufpreis enthalten. Sie sind über eine entsprechend bezeichnete Schaltfläche auf unserer Internetpräsenz oder im jeweiligen Angebot aufrufbar, werden im Laufe des Bestellvorganges gesondert ausgewiesen und sind von Ihnen zusätzlich zu tragen, soweit nicht die versandkostenfreie Lieferung zugesagt ist.
5.3. Die Ihnen zur Verfügung stehenden Zahlungsarten sind unter einer entsprechend bezeichneten Schaltfläche auf unserer Internetpräsenz oder im jeweiligen Angebot ausgewiesen.
5.4. Soweit bei den einzelnen Zahlungsarten nicht anders angegeben, sind die Zahlungsansprüche aus dem geschlossenen Vertrag sofort zur Zahlung fällig.
6.1. Die Lieferbedingungen, der Liefertermin sowie gegebenenfalls bestehende Lieferbeschränkungen finden sich unter einer entsprechend bezeichneten Schaltfläche auf unserer Internetpräsenz oder im jeweiligen Angebot.
Soweit im jeweiligen Angebot oder unter der entsprechend bezeichneten Schaltfläche keine andere Frist angegeben ist, erfolgt die Lieferung der Ware innerhalb von 3-5 Tagen nach Vertragsschluss (bei vereinbarter Vorauszahlung jedoch erst nach dem Zeitpunkt Ihrer Zahlungsanweisung).
6.2. Soweit Sie Verbraucher sind ist gesetzlich geregelt, dass die Gefahr des zufälligen Untergangs und der zufälligen Verschlechterung der verkauften Sache während der Versendung erst mit der Übergabe der Ware an Sie übergeht, unabhängig davon, ob die Versendung versichert oder unversichert erfolgt. Dies gilt nicht, wenn Sie eigenständig ein nicht vom Unternehmer benanntes Transportunternehmen oder eine sonst zur Ausführung der Versendung bestimmte Person beauftragt haben.
Sind Sie Unternehmer, erfolgt die Lieferung und Versendung auf Ihre Gefahr.
Die Mängelhaftung richtet sich nach der Regelung "Gewährleistung" in unseren Allgemeinen Geschäftsbedingungen (Teil I).
letzte Aktualisierung: 23.10.2019
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