Nanoscale Standards by Metrological AFM and Other Instruments
Lingua: inglese
Editore: IOP Publishing Ltd Mai 2021, 2021
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- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
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Neuware - The purpose of this book is to help semiconductor inspection equipment users and manufacturers understand what nano dimensional standards are used to calibrate their equipment and how to employ them effectively. Reviewing trends and developments in nanoscale standards, the book starts with an introductory overview of nanometrological standards before proceeding to detail pitch standard, step height, line width, nano particle size, and surface roughness. This book is essential for users making quantitative nanoscale measurements, be that in a commercial or academic research setting, or involved in engineering nanometrology for quality control in industrial applications. Here the author provides an approachable understanding and application of the nanoscale standards in a practical context across a range of common nanoscale measurement modalities, including 3D, with particular emphasis on applications to AFM, an exceptional and arguably the most common technique used in nanometrology due to the ease of use and versatility of applications. Key features - Practical guide for users and practitioners - Puts nanoscale standards in a practical context - Covers a range of measurement modalities - 2D and 3D measurements.…
Codice articolo 9780750331890
- Titolo
- Nanoscale Standards by Metrological AFM and Other Instruments
- Autore
- Ichiko Misumi
- Editore
- IOP Publishing Ltd Mai 2021
- Anno di pubblicazione
- 2021
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Buch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0750331895
- ISBN 13
- 9780750331890
- Peso dell'articolo
- 386 grammi
- Dimensioni
- 254x178x6 mm
This book reviews nanometrological standards before proceeding to detail pitch, step height, line width, nanoparticle size, and surface roughness. Essential for users making quantitative nanoscale measurements, in a commercial or academic research setting, or involved in engineering nanometrology for quality control in industrial applications.
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