Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Lingua: inglese

Editore: Springer Nature Switzerland AG, CH, 2019

3030094553 / 9783030094553

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Codice articolo LU-9783030094553

Titolo
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Autore
Seongbo Shim, Youngsoo Shin
Editore
Springer Nature Switzerland AG, CH
Anno di pubblicazione
2019
Condizione
New
Rilegatura
Paperback
Lingua
inglese
ISBN 10
3030094553
ISBN 13
9783030094553

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