Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Lingua: inglese

Editore: Springer Nature Switzerland AG, CH, 2019

3030094553 / 9783030094553

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This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology. Softcover Reprint of the Original 1st 2018 ed.

Codice articolo LU-9783030094553

Titolo
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Autore
Seongbo Shim, Youngsoo Shin
Editore
Springer Nature Switzerland AG, CH
Anno di pubblicazione
2019
Condizione
New
Rilegatura
Paperback
Lingua
inglese
ISBN 10
3030094553
ISBN 13
9783030094553

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