Physics of Radio-Frequency Plasmas
Chabert, Pascal; Braithwaite, Nicholas
ISBN 10: 0521763002 ISBN 13: 9780521763004
Editore: Cambridge University Press (edition 1), 2011
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Riassunto:
Focussing on the physics of low-temperature radio frequency plasmas, for graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering.
Informazioni sugli autori:
Pascal Chabert is currently Research Director within CNRS. He leads the Low-Temperature Plasmas group of the Laboratoire de Physique des Plasmas at Ecole Polytechnique. His expertise is in plasma physics and plasma processing.
Nicholas Braithwaite is Professor of Engineering Physics at The Open University, where his research group work on the physics of 'technological' plasmas. He has been on the editorial board of the journal Plasma Sources Science and Technology since 1998.
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Dati bibliografici
Titolo: Physics of Radio-Frequency Plasmas
Casa editrice: Cambridge University Press (edition 1)
Data di pubblicazione: 2011
Legatura: Hardcover
Condizione: Good
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