Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Focussing on the physics of low-temperature radio frequency plasmas, for graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering.

Codice articolo 9780521763004

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Dati bibliografici

Titolo

Physics of Radio-Frequency Plasmas

Editore

Cambridge University Press

Data di pubblicazione

2011

Lingua

Inglese

ISBN 10

0521763002

ISBN 13

9780521763004

Rilegatura

Buch

Condizione

Neu

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Riassunto

Focussing on the physics of low-temperature radio frequency plasmas, for graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering.

Informazioni sugli autori

Pascal Chabert is currently Research Director within CNRS. He leads the Low-Temperature Plasmas group of the Laboratoire de Physique des Plasmas at Ecole Polytechnique. His expertise is in plasma physics and plasma processing.

Nicholas Braithwaite is Professor of Engineering Physics at The Open University, where his research group work on the physics of 'technological' plasmas. He has been on the editorial board of the journal Plasma Sources Science and Technology since 1998.

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