Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication (Series in Plasma Physics)
Lingua: inglese
Editore: CRC Press, 2006
- Rilegato
- Usato

Da: HPB-Red, Dallas, TX, U.S.A.HPB-Red
Venditore AbeBooks dal 11 marzo 2019
Condizione: Usato - Buono
EUR 172,88
Quantità: 1 disponibili
Aggiungi al carrelloDescrizione dell’articolo da parte del venditore
Codice articolo S_324847814
- Titolo
- Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication (Series in Plasma Physics)
- Autore
- Petrovic, Zoran Lj.,Makabe, Toshiaki
- Editore
- CRC Press
- Anno di pubblicazione
- 2006
- Condizione
- Good
- Rilegatura
- Hardcover
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0750309768
- ISBN 13
- 9780750309769
Without plasma processing techniques, recent advances in microelectronics fabrication would not have been possible. But beyond simply enabling new capabilities, plasma-based techniques hold the potential to enhance and improve many processes and applications. They are viable over a wide range of size and time scales, and can be used for deposition, etching, and even process monitoring and diagnosis. Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication explains the fundamental physics and numerical methods necessary to bring these technologies from the laboratory to the factory.
Beginning with an overview of the basic characteristics and applications of low-temperature plasma, preeminent experts Makabe and Petrovic explore the physics underlying the complex behavior of non-equilibrium (or low temperature) plasma. They discuss charged particle transport in general and in detail as well as macroscopic plasma characteristics and elementary processes in gas phase and on surfaces. After laying this groundwork, the book examines state-of-the-art computational methods for modeling plasma and reviews various important applications including inductively and capacitively coupled plasma, magnetically enhanced plasma, and various processing techniques, while numerous problems and worked examples reinforce the concepts.
Uniquely combining physics, numerical methods, and practical applications, Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication equips you with the knowledge necessary to scale up lab bench breakthroughs into industrial innovations.
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Contenuti
Plasma and Its Classification
Application of Low-Temperature Plasma
Academic Fusion
References
Phenomenological Description of the Charged Particle Transport
Transport in Real (Configuration) Space
Transport in Velocity Space
Thermal Equilibrium and Its Governing Relations
References
Macroscopic Plasma Characteristics
Introduction
Quasi-Neutrality
Charge-Separation in Plasmas
Plasma Shielding
Particle Diffusion
Bohm Sheath Criterion
References
Elementary Processes in Gas Phase and on Surfaces
Particles and Waves
Collisions and Cross Sections
Classical Collision Theory
Quantum Theory of Scattering
Collisions between Electrons and Neutral Atoms/Molecules
Electron–Atom Collisions
Electron–Molecule Collisions
Nonconservative Collisions of Electrons with Atoms and Molecules
Heavy Particle Collisions
Photons in Ionized Gases
Elementary Processes at Surfaces
References
The Boltzmann Equation and Transport Equations of Charged Particles
Introduction
The Boltzmann Equation
Transport Coefficients
The Transport Equation
Collision Term in the Boltzmann Equation
Boltzmann Equation for Electrons
References
General Properties of Charged Particle Transport in Gases
Introduction
Electron Transport in DC-Electric Fields
Electron Transport in RF Electric Fields
Ion Transport in DC-Electric Fields
References
Modeling of Nonequilibrium (Low-Temperature) Plasmas
Introduction
Continuum Models
Particle Models
Hybrid Models
Circuit Model
Electromagnetic Fields and Maxwell’s Equations
References
Numerical Procedure of Modeling
Time Constant of the System
Numerical Techniques to Solve the Time-Dependent Drift-Diffusion Equation
Boundary Conditions
References
Capacitively Coupled Plasma
Radio-Frequency Capacitive Coupling
Mechanism of Plasma Maintenance
References
Inductively Coupled Plasma
Radio-Frequency Inductive Coupling
Mechanism of Plasma Maintenance
Wave Propagation in Plasmas
References
Magnetically Enhanced Plasma
Direct-Current Magnetron Plasma
Unbalanced Magnetron Plasma
RF Magnetron Plasma
Magnetic Confinements of Plasmas
Magnetically Resonant Plasmas
References
Plasma Processing and Related Topics
Introduction
Physical Sputtering
Plasma Chemical Vapor Deposition
Plasma Etching
References
Index
"Descrizione articolo" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
HPB-Red
Dallas, TX, U.S.A.
Venditore AbeBooks dal 11 marzo 2019
Tariffe di spedizione nazionale per U.S.A.
| Articolo | Da 4 a 14 giorni lavorativi | Da 2 a 6 giorni lavorativi |
|---|---|---|
| Primo articolo | EUR 3,23 | EUR 6,02 |
Metodi di pagamento
Descrizione dello Store
Specializzazione
AllInformazioni sull’azienda del venditore
Half Price Books, Records, Magazines, Inc.
5803 E. Northwest Hwy.
Dallas, TX U.S.A. 75231
Diritto di recesso
Se sei un consumatore puoi recedere dal contratto in conformità con quanto segue. Per Consumatore si intende qualsiasi persona fisica che agisce per scopi estranei alla propria attività commerciale, imprenditoriale, artigianale o professionale.
Informazioni sul diritto di recesso
Diritto legale di recesso
Hai il diritto di recedere dal presente contratto entro 14 giorni senza fornire alcuna motivazione.
Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui tu o una terza parte, diversa dal vettore e da te indicata, acquisisce il possesso fisico dell'ultimo bene o dell'ultimo lotto o pezzo.
Per esercitare il diritto di recesso, compila e invia elettronicamente una dichiarazione esplicita sul nostro sito Web, alla voce “I miei acquisti” nella sezione “Mio account”. Ti comunicheremo senza indugio una conferma di ricezione di tale recesso su un supporto durevole (ad es. via e-mail).
Per rispettare il termine di recesso, è sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso stesso.
Effetti del recesso
In caso di recesso dal presente contratto, ti rimborseremo tutti i pagamenti ricevuti, compresi i costi di spedizione (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di spedizione diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto).
Potremo effettuare una detrazione dal rimborso per la perdita di valore dei beni forniti, qualora tale perdita sia il risultato di una manipolazione non necessaria da parte tua.
Eseguiremo il rimborso senza indebito ritardo e non oltre 14 giorni dal giorno in cui saremo informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.
Il rimborso sarà effettuato utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente concordato altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso.
Possiamo trattenere il rimborso finché non avremo ricevuto i beni oppure finché non avrai fornito la prova di averli rispediti, a seconda di quale condizione si verifichi per prima.
Dovrai rispedire i beni o consegnarli a HPB-Red, Carrollton, Texas, U.S.A., +1 800-883-2114, senza indebito ritardo e, in ogni caso, entro 14 giorni dal giorno in cui ci hai comunicato la tua volontà di recedere dal presente contratto. Il termine è rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni stessi.
Eccezioni al diritto di recesso
Il diritto di recesso non si applica a:
- La fornitura di giornali, periodici o riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento; e
- La fornitura di contenuto digitale non fornito su un supporto materiale (ad es. su un CD o DVD), se al momento dell'invio dell'ordine hai accettato l'inizio dell'esecuzione e hai riconosciuto che non avresti potuto recedere una volta iniziata l'esecuzione.