Timely, authoritative, pedagogically consistent? a valuable professional resource and a superior didactic tool. Authored by two internationally respected pioneers in the field, this book offers a fully integrated, pedagogically consistent presentation of the fundamental physics and chemistry of partially ionized, chemically reactive, low-pressure plasmas and their roles in a wide range of plasma discharges and processes used in thin film processing applications?especially in the fabrication of integrated circuits. With many fully worked examples, practice exercises, and clear demonstrations of the relationship of plasma parameters to external control parameters and processing results, this book combines the best qualities of a student text and a professional resource.

In-depth coverage of the fundamentals of plasma physics and chemistry?includes separate chapters on atomic and molecular collisions
Applies basic theory to plasma discharges, including calculations of plasma parameters and scaling of plasma parameters with control parameters
Applies results to basic processing mechanisms and the effects of plasma parameters on those mechanisms
Uses numerous worked examples to demonstrate the relationships between control parameters, plasma parameters, and processing results

Informazioni sull?autore

MICHAEL A. LIEBERMAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at the University of California, Berkeley, and Director of the Berkeley Electronics Research Laboratory. He has published more than 140 journal articles on the topics of plasmas, plasma processing, and nonlinear dynamics. He has also published, with Professor Lichtenberg, Regular and Stochastic Motion and Regular and Chaotic Dynamics, Second Edition. ALLAN J. LICHTENBERG, PhD, is Professor of Electrical Engineering at the University of California, Berkeley. A respected pioneer in the fields of high-temperature plasmas, plasma discharges, and nonlinear dynamics, Dr. Lichtenberg has written over 100 articles in these areas. In addition to the books coauthored with Professor Lieberman, he has written an earlier monograph Phase Space Dynamics of Particles.

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Descrizione libreria

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Diritto di recesso

Se sei un consumatore, puoi esercitare il tuo diritto di recesso seguendo le istruzioni riportate di seguito. Per "consumatore" si intende qualsiasi persona fisica che agisca per fini che non rientrano nel quadro della sua attivit� commerciale, industriale, artigianale o professionale.

Informazioni relative al diritto di recesso

Diritto di recesso

Hai il diritto di recedere dal presente contratto, senza indicarne le ragioni, entro 14 giorni.

Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui

tu acquisisci, o un terzo designato diverso dal vettore e da te acquisisce, il possesso fisico dell'ultimo bene o l'ultimo lotto o pezzo.

Per esercitare il diritto di recesso, sei tenuto a informare thebookforest.com, 59 Larkspur St., Unit 5, 94901, San Rafael, California, U.S.A., +1 4158859944, della tua decisione di recedere dal presente contratto tramite una dichiarazione esplicita (ad esempio lettera inviata per posta, fax o posta elettronica). A tal fine puoi utilizzare il modulo tipo di recesso, ma non e' obbligatorio. Puoi anche compilare e inviare elettronicamente il modulo tipo di recesso o qualsiasi altra esplicita dichiarazione sul nostro sito web, dalla sezione "Ordini" nel "Mio Account". Nel caso scegliessi questa opzione, ti trasmetteremo senza indugio una conferma di ricevimento su un supporto durevole (ad esempio per posta elettronica).

Per rispettare il termine di recesso, � sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso.

Effetti del recesso

Se recedi dal presente contratto, ti saranno rimborsati tutti i pagamenti che hai effettuato a nostro favore, compresi i costi di consegna (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di consegna diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto). Potremo trattenere dal rimborso le somme derivanti da una diminuzione del valore del prodotto risultante da una tua non necessaria manipolazione.

I rimborsi verranno effettuati senza indebito ritardo e in ogni caso non oltre 14 giorni dal giorno in cui siamo stati informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.

Detti rimborsi saranno effettuati utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente convenuto altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso. Il rimborso pu� essere sospeso fino al ricevimento dei beni oppure fino all'avvenuta dimostrazione da parte tua di aver rispedito i beni, se precedente.

Ti preghiamo di rispedire i beni o di consegnarli a thebookforest.com, 59 Larkspur St., Unit 5, 94901, San Rafael, California, U.S.A., +1 4158859944, senza indebiti ritardi e in ogni caso entro 14 giorni dal giorno in cui hai comunicato il tuo recesso dal presente contratto. Il termine � rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione del bene diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni.

Eccezioni al diritto di recesso

Il diritto di recesso non si applica in caso di:

fornitura di giornali, periodici e riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento per la fornitura di tali pubblicazioni;
fornitura di contenuto digitale (inclusi applicazioni, MP3, ecc.) mediante un supporto non materiale (per esempio un CD o un DVD) se al momento dell'inoltro dell'ordine hai espressamente consentito all'inizio dell'esecuzione accettando la perdita del diritto di recesso in conseguenza dell'inizio di esecuzione.

Modulo di recesso tipo

(Compilare e restituire il presente modulo solo se si desidera recedere dal contratto)

Destinatario: (thebookforest.com, 59 Larkspur St., Unit 5, 94901, San Rafael, California, U.S.A., +1 4158859944)

Con la presente io/noi (*) notifichiamo il recesso dal mio/nostro (*) contratto di vendita dei seguenti beni/servizi (*)

Ordinato il (*) /ricevuto il (*)

Nome del/dei consumatore(i)

Indirizzo del/dei consumatore(i)

Firma del/dei consumatore(i) (solo se il presente modulo � notificato in versione cartacea)

Data

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