Reactive Sputter Deposition
Lingua: inglese
Editore: Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Apr 2008, 2008
- Rilegato
- Nuovo
Da: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, GermaniaBuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.
Venditore AbeBooks dal 11 gennaio 2012
Condizione: Nuovo
EUR 353,09
Quantità: 2 disponibili
Aggiungi al carrelloDescrizione dell’articolo da parte del venditore
This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -The most straightforwardmethod to change the surface properties of a ma- rial is to deposit a thin lm or coating on it. Hence, it is not surprising that an overwhelming amount of scienti c and technical papers is published each year on this topic. Sputter deposition is one of the many so-called physical vapour deposition (PVD) techniques. In most cases, sputter deposition uses a magnetically enhanced glow discharge or magnetron discharge to produce the ions which bombard and sputter the cathode material. In the rst chapter of this book (Chap. 1), the details of the sputter process are discussed. Essential to sustain the discharge is the electron emission during ion bombardment. Indeed, the emitted electrons are accelerated from the target and can ionize gas atoms. The formed ions bombard again the target completing the s- taining process. A complete chapter is assigned to this process to highlight its importance (Chap. 2). Although the sustaining process can be described quite straightforward, a complete understanding of the magnetron discharge and the in uence of di erent parameters on the discharge characteristics is onlypossiblebymodelling(seeChap.3).Withthesethreechapters,thereader should be able to form an idea of the target and plasma processes occurring during a DC magnetron discharge. 592 pp. Englisch.…
Codice articolo 9783540766629
- Titolo
- Reactive Sputter Deposition
- Autore
- Stijn Mahieu
- Editore
- Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Apr 2008
- Anno di pubblicazione
- 2008
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Buch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 3540766626
- ISBN 13
- 9783540766629
- Peso dell'articolo
- 1153 grammi
- Dimensioni
- 241x160x42 mm
In this valuable work, all aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth, are described in detail, allowing the reader to understand the complete process. Hence, this book gives necessary information for those who want to start with reactive magnetron sputtering, understand and investigate the technique, control their sputtering process and tune their existing process, obtaining the desired thin films.
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Informazioni sull’autore
Prof. Dr. D. Depla has received his Master Degree in Chemistry in 1991 at Ghent University (Belgium). In 1996 he promoted with a PhD thesis on Solid State Chemistry. After a short period as senior scientist in the Department for Solid State Sciences, he became in 1999 Professor at the Department for Solid State Sciences where his research focussed on the fundamental aspects of reactive magnetron sputtering. He has shown the importance of ion implantation in the description of the reactive magnetron sputter process. In this way, his continuous research in this area resulted in several publications.
Dr. S. Mahieu received his Master Degree in Physics in 2002 and promoted in 2006 with the PhD thesis entitled "Biaxial alignment in sputter deposited thin films" in the department of Solid State Sciences, Ghent University (Belgium). During his PhD, he focussed on the modelling of thin film growth, plasma characterization and the simulation of transport of sputtered particles, resulting in the elaboration of a new structure zone model as published in an invited review in Thin Solid Films. As Postdoctoral Fellow of the Research Foundation - Flanders (FWO), his current research is focussed on characterizing and modelling the relation between thin film growth and the energy flux towards the substrate during magnetron sputtering.
"Descrizione articolo" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.
Bergisch Gladbach, Germania
Venditore AbeBooks dal 11 gennaio 2012
Tariffe di spedizione da Germania a U.S.A.
| Articolo | Da 5 a 15 giorni lavorativi | Da 5 a 15 giorni lavorativi |
|---|---|---|
| Primo articolo | EUR 23,00 | EUR 23,00 |
Metodi di pagamento
- Assegno
- Bonifico bancario
- PayPal
Informazioni sull’azienda del venditore
BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.
Germania
Condizioni di vendita
BuchWeltWeit Inh. Ludwig Meier e.K.
Inhaber: Ludwig Meier
De-Gasperi-Str. 8
51469 Bergisch Gladbach
Deutschland
Tel.: +49(0)22028659300
Fax: +49(0)22028659301
E-Mail: info@buchweltweit.de
Registergericht: Amtsgericht Köln
Registernummer: HRA 28253
Umsatzsteuer-Identifikationsnummer: DE815259907
Wir sind zur Teilnahme an einem Streitbeilegungsverfahren vor einer Verbraucherschlichtungsstelle weder verpflichtet noch bereit.
Diritto di recesso
Se sei un consumatore puoi recedere dal contratto in conformità con quanto segue. Per Consumatore si intende qualsiasi persona fisica che agisce per scopi estranei alla propria attività commerciale, imprenditoriale, artigianale o professionale.
Informazioni sul diritto di recesso
Diritto legale di recesso
Hai il diritto di recedere dal presente contratto entro 14 giorni senza fornire alcuna motivazione.
Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui tu o una terza parte, diversa dal vettore e da te indicata, acquisisce il possesso fisico dell'ultimo bene o dell'ultimo lotto o pezzo.
Per esercitare il diritto di recesso, compila e invia elettronicamente una dichiarazione esplicita sul nostro sito Web, alla voce “I miei acquisti” nella sezione “Mio account”. Ti comunicheremo senza indugio una conferma di ricezione di tale recesso su un supporto durevole (ad es. via e-mail).
Per rispettare il termine di recesso, è sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso stesso.
Effetti del recesso
In caso di recesso dal presente contratto, ti rimborseremo tutti i pagamenti ricevuti, compresi i costi di spedizione (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di spedizione diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto).
Potremo effettuare una detrazione dal rimborso per la perdita di valore dei beni forniti, qualora tale perdita sia il risultato di una manipolazione non necessaria da parte tua.
Eseguiremo il rimborso senza indebito ritardo e non oltre 14 giorni dal giorno in cui saremo informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.
Il rimborso sarà effettuato utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente concordato altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso.
Possiamo trattenere il rimborso finché non avremo ricevuto i beni oppure finché non avrai fornito la prova di averli rispediti, a seconda di quale condizione si verifichi per prima.
Dovrai rispedire i beni o consegnarli a BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Germany, senza indebito ritardo e, in ogni caso, entro 14 giorni dal giorno in cui ci hai comunicato la tua volontà di recedere dal presente contratto. Il termine è rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni stessi.
Eccezioni al diritto di recesso
Il diritto di recesso non si applica a:
- La fornitura di giornali, periodici o riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento; e
- La fornitura di contenuto digitale non fornito su un supporto materiale (ad es. su un CD o DVD), se al momento dell'invio dell'ordine hai accettato l'inizio dell'esecuzione e hai riconosciuto che non avresti potuto recedere una volta iniziata l'esecuzione.
Condizioni di spedizione
Der Versand ins Ausland findet IMMER mit DHL statt. Auch nach Österreich verschicken wir nur mit DHL! Daher Standardversand == Luftpost!