Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47)

Lingua: inglese

Editore: SPIE Publications, 2001

0819439959 / 9780819439956

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Codice articolo BAY_16_SH_080702

Titolo
Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47)
Autore
Alfred Kwok-Kit Wong
Editore
SPIE Publications
Anno di pubblicazione
2001
Condizione
Very Good
Rilegatura
Brossura
Lingua
inglese
ISBN 10
0819439959
ISBN 13
9780819439956

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