Run-To-Run Control in Semiconductor Manufacturing
Lingua: inglese
Editore: CRC Press Nov 2000, 2000
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- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
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Neuware - Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine 'runs,' thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.
Codice articolo 9780849311789
- Titolo
- Run-To-Run Control in Semiconductor Manufacturing
- Autore
- Enrique Del Castillo
- Editore
- CRC Press Nov 2000
- Anno di pubblicazione
- 2000
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Buch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0849311780
- ISBN 13
- 9780849311789
- Peso dell'articolo
- 617 grammi
- Dimensioni
- 242x161x22 mm
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