Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing

Lingua: inglese

Editore: Taylor and Francis Inc, US, 2000

0849311780 / 9780849311789

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Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.

Codice articolo LU-9780849311789

Titolo
Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
Autore
Enrique del Castillo
Editore
Taylor and Francis Inc, US
Anno di pubblicazione
2000
Condizione
New
Rilegatura
Hardback
Lingua
inglese
ISBN 10
0849311780
ISBN 13
9780849311789
Peso dell'articolo
625 grammi

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