Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical Polishing: Analysis of Experimental Sensor Data Integrating Statistical Time Series Analysis and Nonlinear Dynamics (Chaos Theory) Paradigms

Prahalada Rao

ISBN 10: 363903564X ISBN 13: 9783639035643
Editore: VDM Verlag Dr. M�ller 2008-12-03, 2008
Lingua: Inglese
Condizione: Nuovo Brossura

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