The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices

Libro 107 di 797: Springer Theses

Zhiqiang Li

ISBN 10: 366249681X ISBN 13: 9783662496817

Editore: Springer Berlin Heidelberg, 2016

Lingua: Inglese

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Dati bibliografici

Titolo

The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices

Editore

Springer Berlin Heidelberg

Data di pubblicazione

2016

Lingua

Inglese

ISBN 10

366249681X

ISBN 13

9783662496817

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Mathematik/Naturwissenschaften/Technik/Medizin

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Riassunto

This book mainly focuses on reducing the high parasitic resistance in the source/drain of germanium nMOSFET. With adopting of the Implantation After Germanide (IAG) technique, P and Sb co-implantation technique and Multiple Implantation and Multiple Annealing (MIMA) technique, the electron Schottky barrier height of NiGe/Ge contact is modulated to 0.1eV, the thermal stability of NiGe is improved to 600? and the contact resistivity of metal/n-Ge contact is drastically reduced to 3.8�10-7O�cm2, respectively. Besides, a reduced source/drain parasitic resistance is demonstrated in the fabricated Ge nMOSFET. Readers will find useful information about the source/drain engineering technique for high-performance CMOS devices at future technology node.

Informazioni sull?autore

Dr. Li received his Bachelor degree of Science from Sichuan University in 2009, and Ph.D from Peking University in 2014

Prizes and awards:
2009-2014, Peking University
Leo KoGuan Scholarship, Chenming Hu Scholarship, Merit Student, Creative Talent Award.
2005-2009, Sichuan University
National Scholarship (twice), National Encouragement Scholarship, Xinyuan Scholarship (twice),
Comprehensive First-class Scholarship, Excellent Student Leader.

Publications:
1. Zhiqiang Li, Xia An, Min Li, Quanxin Yun, Meng Lin, Ming Li, Xing Zhang, and Ru Huang, �Low Electron Schottky Barrier Height of NiGe/Ge Achieved by Ion-Implantation after Germanidation Technique,� IEEE Electron Device Lett.,vol. 33, no. 12, pp. 1687�1689, Dec. 2012.
2. Zhiqiang Li, Xia An, Min Li, Quanxin Yun, Meng Lin, Ming Li, Xing Zhang, and Ru Huang, �Morphology and Electrical Performance Improvement of NiGe/Ge Contact by P and Sb Co-implantation,� IEEE Electron Device Lett., vol. 34, no. 5, pp. 596�598, May. 2013.
3. Zhiqiang Li, Xia An, Quanxin Yun, Meng Lin, Min Li, Ming Li, Xing Zhang, and Ru Huang, �Low Specific Contact Resistivity to n-Ge and Well-Behaved Ge n?/p Diode Achieved by Multiple Implantation and Multiple Annealing Technique,� IEEE Electron Device Lett., vol. 34, no. 9, pp. 1097�1099, Sep. 2013.
4. Zhiqiang Li, Xia An, Quanxin Yun, Meng Lin, Xing Zhang and Ru Huang, �Tuning Schottky Barrier Height in Metal/n-Type Germanium by Inserting an Ultrathin Yttrium Oxide Film,� ECS Solid State Lett., Vol. 1, no. 4, pp. Q33-Q34, 2012.
5. Zhiqiang Li, Xia An, Min Li, Quanxin Yun, Meng Lin, Ming Li, Xing Zhang, and Ru Huang, �Study on Schottky Barrier Modulation of NiGe/Ge by Ion-implantation after Germanidation Technique,� The 11th ICSICT, Xi�an, 2012.

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in cui voi o un terzo da voi nominato, che non � il trasportatore, avete o ha preso in consegna l'ultima fornitura parziale o l'ultimo pezzo, qualora abbiate ordinato una merce che viene consegnata in diverse forniture parziali o pezzi;

Per esercitare il vostro diritto di recesso, dovete informarci (Moluna GmbH, M�nsterstr. 105, 48268 Greven, Numero di telefono: 02571/5 69 89 33, Numero di fax: 02571/5 69 89 30, Indirizzo E-Mail: abe@moluna.de) mediante una dichiarazione univoca (p. es. una lettera postale, un fax o una e-mail) relativa alla vostra decisione di rescindere il contratto. A tale proposito potete utilizzare il facsimile del modello di lettera di revoca allegato che per� non � prescritto.

Al fine dell'osservanza del termine di revoca � sufficiente che la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso venga spedita prima della scadenza del termine di revoca.

Conseguenze del recesso

Qualora rescindiate il presente contratto, abbiamo l'obbligo di restituirvi tutti i pagamenti che abbiamo ricevuto da voi, comprese le spese di spedizione (eccetto i costi aggiuntivi che risultano dal fatto che abbiate scelto un termine di consegna diverso dalla consegna standard pi� vantaggiosa da noi offerta), immediatamente e al pi� tardi entro 14 giorni dalla data in cui ci � pervenuta la comunicazione relativa alla vostra revoca del presente contratto. Per questa restituzione utilizziamo la stessa modalit� di pagamento che avete usato al momento della transazione originaria, salvo diversamente concordato esplicitamente; in nessun caso vi verranno addebitati costi per tale restituzione.

Noi possiamo rifiutare di restituire il pagamento fino a quando abbiamo ricevuto la merce oppure fino a quando ci portate la prova che avete spedito indietro la merce, a seconda di qual � il momento antecedente.

Voi dovete spedirci o consegnarci la merce immediatamente e in ogni caso al pi� tardi entro 14 giorni a partire dalla data in cui ci informate circa la revoca del presente contratto . Il termine viene concesso se spedite la merce prima della scadenza del termine di 14 giorni.

Voi assumete i costi indiretti della restituzione delle merci.

Voi siete responsabili per eventuali perdite di valore delle merci, solo se tale perdita � riconducibile un trattamento delle stesse non necessario al fine del controllo della consistenza, delle caratteristiche e della modalit� di funzionamento.

Motivi di esclusione o cancellazione

Il diritto di revoca non � previsto per contratti

relativi alla fornitura di merci che non sono prefabbricate e per la produzione delle quali � determinante una scelta o determinazione individuale da parte del consumatore oppure che sono evidentemente adattate alle esigenze personali del consumatore;
relativi alla fornitura di merci che si deteriorano rapidamente o la cui data di scadenza verrebbe rapidamente superata;
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relativi alla fornitura di giornali, riviste o illustrati, ad eccezione di contratti di abbonamento.

Il diritto di revoca decade prima del tempo per contratti

relativi alla fornitura di merci che, per motivi della tutela della salute o di igiene, non sono adatti alla restituzione, se il sigillo � stato rimosso dopo la consegna;
relativi alla fornitura di merci, se questi dopo la consegna sono stati mischiati con altri beni in modo inseparabile a causa della loro consistenza;
relativi alla fornitura di registrazioni audio o video o software di computer in una confezione sigillata, se il sigillo � stato rimosso dopo la consegna.

Fac simile modello di revoca

(Qualora desideriate rescindere il contratto, vi preghiamo di restituire il presente modulo debitamente compilato.)

Alla Moluna GmbH, Engberdingdamm 27, 48268 Greven, Numero di fax: 02571/5 69 89 30, Indirizzo e-mail: abe@moluna.de :
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Wir sind nicht bereit und nicht verpflichtet, an Streitbeilegungsverfahren vor Verbraucherschlichtungsstellen teilzunehmen.

Informationen zum Zustandekommen des Vertrages

Die technischen Schritte zum Vertragsschluss, der Vertragsschluss selbst und die Korrekturm�glichkeiten erfolgen nach Ma�gabe der Regelungen "Zustandekommen des Vertrages" unserer Allgemeinen Gesch�ftsbedingungen (Teil I.).

Vertragssprache, Vertragstextspeicherung

3.1. Vertragssprache ist deutsch .

3.2. Der vollst�ndige Vertragstext wird von uns nicht gespeichert. Vor Absenden der Bestellung k�nnen die Vertragsdaten �ber die Druckfunktion des Browsers ausgedruckt oder elektronisch gesichert werden. Nach Zugang der Bestellung bei uns werden die Bestelldaten, die gesetzlich vorgeschriebenen Informationen bei Fernabsatzvertr�gen und die Allgemeinen Gesch�ftsbedingungen nochmals per E-Mail an Sie �bersandt.

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Die wesentlichen Merkmale der Ware und/oder Dienstleistung finden sich im jeweiligen Angebot.

Preise und Zahlungsmodalit�ten

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5.3. Die Ihnen zur Verf�gung stehenden Zahlungsarten sind unter einer entsprechend bezeichneten Schaltfl�che auf unserer Internetpr�senz oder im jeweiligen Angebot ausgewiesen.

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Soweit im jeweiligen Angebot oder unter der entsprechend bezeichneten Schaltfl�che keine andere Frist angegeben ist, erfolgt die Lieferung der Ware innerhalb von 3-5 Tagen nach Vertragsschluss (bei vereinbarter Vorauszahlung jedoch erst nach dem Zeitpunkt Ihrer Zahlungsanweisung).

6.2. Soweit Sie Verbraucher sind ist gesetzlich geregelt, dass die Gefahr des zuf�lligen Untergangs und der zuf�lligen Verschlechterung der verkauften Sache w�hrend der Versendung erst mit der �bergabe der Ware an Sie �bergeht, unabh�ngig davon, ob die Versendung versichert oder unversichert erfolgt. Dies gilt nicht, wenn Sie eigenst�ndig ein nicht vom Unternehmer benanntes Transportunternehmen oder eine sonst zur Ausf�hrung der Versendung bestimmte Person beauftragt haben.

Sind Sie Unternehmer, erfolgt die Lieferung und Versendung auf Ihre Gefahr.

Gesetzliches M�ngelhaftungsrecht

Die M�ngelhaftung richtet sich nach der Regelung "Gew�hrleistung" in unseren Allgemeinen Gesch�ftsbedingungen (Teil I).

letzte Aktualisierung: 23.10.2019

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