Sputtering Materials for VLSI and Thin Film Devices (Hardcover)
Lingua: inglese
Editore: William Andrew Publishing, Norwich, 2013
- Rilegato
- Nuovo
Da: AussieBookSeller, Truganina, VIC, AustraliaAussieBookSeller
Venditore AbeBooks dal 22 giugno 2007
Condizione: Nuovo
EUR 341,78
Quantità: 1 disponibili
Aggiungi al carrelloDescrizione dell’articolo da parte del venditore
Hardcover. Sputtering Materials for VLSI and Thin Film Devices Reviews microelectronics industry topics such as history of inventions and technology trends, recent developments in sputtering technologies, manufacturing steps that require sputtering of thin films, the properties of thin films and the role of sputtering target performance on overall productivity of various processes. Shipping may be from our Sydney, NSW warehouse or from our UK or US warehouse, depending on stock availability.
Codice articolo 9780815515937
- Titolo
- Sputtering Materials for VLSI and Thin Film Devices (Hardcover)
- Autore
- Jaydeep Sarkar
- Editore
- William Andrew Publishing, Norwich
- Anno di pubblicazione
- 2013
- Condizione
- new
- Rilegatura
- Hardcover
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0815515936
- ISBN 13
- 9780815515937
An important resource for students, engineers and researchers working in the area of thin film deposition using physical vapor deposition (e.g. sputtering) for semiconductor, liquid crystal displays, high density recording media and photovoltaic device (e.g. thin film solar cell) manufacturing. This book also reviews microelectronics industry topics such as history of inventions and technology trends, recent developments in sputtering technologies, manufacturing steps that require sputtering of thin films, the properties of thin films and the role of sputtering target performance on overall productivity of various processes. Two unique chapters of this book deal with productivity and troubleshooting issues.
The content of the book has been divided into two sections: (a) the first section (Chapter 1 to Chapter 3) has been prepared for the readers from a range of disciplines (e.g. electrical, chemical, chemistry, physics) trying to get an insight into use of sputtered films in various devices (e.g. semiconductor, display, photovoltaic, data storage), basic of sputtering and performance of sputtering target in relation to productivity, and (b) the second section (Chapter 4 to Chapter 8) has been prepared for readers who already have background knowledge of sputter deposition of thin films, materials science principles and interested in the details of sputtering target manufacturing methods, sputtering behavior and thin film properties specific to semiconductor, liquid crystal display, photovoltaic and magnetic data storage applications.
In Chapters 5 to 8, a general structure has been used, i.e. a description of the applications of sputtered thin films, sputtering target manufacturing methods (including flow charts), sputtering behavior of targets (e.g. current - voltage relationship, deposition rate) and thin film properties (e.g. microstructure, stresses, electrical properties, in-film particles). While discussing these topics, attempts have been made to include examples from the actual commercial processes to highlight the increased complexity of the commercial processes with the growth of advanced technologies. In addition to personnel working in industry setting, university researchers with advanced knowledge of sputtering would also find discussion of such topics (e.g. attributes of target design, chamber design, target microstructure, sputter surface characteristics, various troubleshooting issues) useful.
.
- Unique coverage of sputtering target manufacturing methods in the light of semiconductor, displays, data storage and photovoltaic industry requirements
- Practical information on technology trends, role of sputtering and major OEMs
- Discussion on properties of a wide variety of thin films which include silicides, conductors, diffusion barriers, transparent conducting oxides, magnetic films etc.
- Practical case-studies on target performance and troubleshooting
- Essential technological information for students, engineers and scientists working in the semiconductor, display, data storage and photovoltaic industry
"Riassunto" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
Informazioni sull’autore
"Descrizione articolo" può appartenere a un’altra edizione di questo titolo.
AussieBookSeller
Truganina, VIC, Australia
Venditore AbeBooks dal 22 giugno 2007
Tariffe di spedizione da Australia a U.S.A.
| Articolo | Da 25 a 45 giorni lavorativi | Da 8 a 14 giorni lavorativi |
|---|---|---|
| Primo articolo | EUR 32,07 | EUR 38,14 |
Metodi di pagamento
Informazioni sull’azienda del venditore
The Nile Group Pty Ltd
42 Apex Drive
Truganina, VIC Australia 3029
Condizioni di vendita
We guarantee the condition of every book as it's described on the Abebooks web sites. If you're dissatisfied with your purchase (Incorrect Book/Not as Described/Damaged) or if the order hasn't arrived, you're eligible for a refund within 30 days of the estimated delivery date. If you've changed your mind about a book that you've ordered, please use the Ask bookseller a question link to contact us and we'll respond within 2 business days.
Diritto di recesso
Se sei un consumatore puoi recedere dal contratto in conformità con quanto segue. Per Consumatore si intende qualsiasi persona fisica che agisce per scopi estranei alla propria attività commerciale, imprenditoriale, artigianale o professionale.
Informazioni sul diritto di recesso
Diritto legale di recesso
Hai il diritto di recedere dal presente contratto entro 14 giorni senza fornire alcuna motivazione.
Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui tu o una terza parte, diversa dal vettore e da te indicata, acquisisce il possesso fisico dell'ultimo bene o dell'ultimo lotto o pezzo.
Per esercitare il diritto di recesso, compila e invia elettronicamente una dichiarazione esplicita sul nostro sito Web, alla voce “I miei acquisti” nella sezione “Mio account”. Ti comunicheremo senza indugio una conferma di ricezione di tale recesso su un supporto durevole (ad es. via e-mail).
Per rispettare il termine di recesso, è sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso stesso.
Effetti del recesso
In caso di recesso dal presente contratto, ti rimborseremo tutti i pagamenti ricevuti, compresi i costi di spedizione (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di spedizione diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto).
Potremo effettuare una detrazione dal rimborso per la perdita di valore dei beni forniti, qualora tale perdita sia il risultato di una manipolazione non necessaria da parte tua.
Eseguiremo il rimborso senza indebito ritardo e non oltre 14 giorni dal giorno in cui saremo informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.
Il rimborso sarà effettuato utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente concordato altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso.
Possiamo trattenere il rimborso finché non avremo ricevuto i beni oppure finché non avrai fornito la prova di averli rispediti, a seconda di quale condizione si verifichi per prima.
Dovrai rispedire i beni o consegnarli a AussieBookSeller, Truganina, Victoria, Australia, senza indebito ritardo e, in ogni caso, entro 14 giorni dal giorno in cui ci hai comunicato la tua volontà di recedere dal presente contratto. Il termine è rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni stessi.
Eccezioni al diritto di recesso
Il diritto di recesso non si applica a:
- La fornitura di giornali, periodici o riviste ad eccezione dei contratti di abbonamento; e
- La fornitura di contenuto digitale non fornito su un supporto materiale (ad es. su un CD o DVD), se al momento dell'invio dell'ordine hai accettato l'inizio dell'esecuzione e hai riconosciuto che non avresti potuto recedere una volta iniziata l'esecuzione.
Condizioni di spedizione
Please note that titles are dispatched from our UK and NZ warehouse. Delivery times specified in shipping terms. Orders ship within 2 business days. Delivery to your door then takes 8-15 days.