Techniques and Challenges for 300 Mm Silicon Processing, Characterization, Modelling and Equipment: Processing, Characterization, Modelling and Equipment : Proceedings of Symposium F on Techniques and Challenges for 300 Mm Silicon of the E-Mrs 1998

Symposium F on Techniques and Challenges for 300 Mm Silicon/ Wagner, P./ Ritter, G./ Richter, H./ European Materials Research Society Meeting (1998 Strasbourg, France)

ISBN 10: 0080436099 ISBN 13: 9780080436098
Editore: Elsevier Science Ltd, 1999
Lingua: Inglese
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