A User's Guide to Ellipsometry
Lingua: inglese
Editore: Dover Publications Jul 2006, 2006
Serie: Libro 37 di 53 - Dover Civil and Mechanical Engineering
- Brossura
- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
Venditore AbeBooks dal 14 agosto 2006
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Neuware - This text on optics for graduate students explains how to determine material properties and parameters for inaccessible substrates and unknown films as well as how to measure extremely thin films. 14 case studies illustrate concepts and applications. Three appendices provide helpful references. 1993 edition.
Codice articolo 9780486450285
- Titolo
- A User's Guide to Ellipsometry
- Autore
- Harland G Tompkins
- Editore
- Dover Publications Jul 2006
- Anno di pubblicazione
- 2006
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Taschenbuch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0486450287
- ISBN 13
- 9780486450285
- Peso dell'articolo
- 299 grammi
- Dimensioni
- 216x143x14 mm
- Serie
- Libro 37 di 53: Dover Civil and Mechanical Engineering
A User's Guide to Ellipsometry will enable readers to move beyond limited turn-key applications of ellipsometers. In addition to its comprehensive discussions of the measurement of film thickness and optical constants in film, it also considers the trajectories of the ellipsometric parameters Del and Psi and how changes in materials affect parameters. This volume also addresses the use of polysilicon, a material commonly employed in the microelectronics industry, and the effects of substrate roughness. Three appendices provide helpful references.
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