Sinossi
Mit Hilfe der Ellipsometrie mißt man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)
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Informazioni sull?autore
Harland Tompkins retired from full-time employment in 2001. During his full-time employment, he was employed by General Electric Co., Bell Laboratories, the Idaho National Engineering Lab, and Motorola.
William A. McGahan is the author of Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide, published by Wiley.
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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide
Editore:
Wiley-Interscience (edition 1), 1999
ISBN 10: 0471181722
ISBN 13: 9780471181729
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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide
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Wiley-Interscience, 1999
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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry
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