Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces: Ucpss 2006 : Selected, Peer Reviewed Papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean ... in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006: 8 - Brossura

 
9783908451464: Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces: Ucpss 2006 : Selected, Peer Reviewed Papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean ... in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006: 8
Brossura
ISBN 10: 3908451469 ISBN 13: 9783908451464
Casa editrice: Trans Tech Pubn, 2008

Sinossi

Volume is indexed by Thomson Reuters CPCI-S (WoS).
This collection of 86 peer-reviewed papers covers all aspects of the use of ultra-clean technology for large-scale integration on semiconductors, and cleaning and contamination-control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing.

Le informazioni nella sezione "Riassunto" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

Editore
Trans Tech Pubn
Data di pubblicazione
2008
Lingua
Inglese
ISBN 10 
3908451469
ISBN 13 
9783908451464
Rilegatura
Copertina flessibile
Numero di pagine
390
Redattore
Mertens Paul, Meuris Marc, Heyns Marc
Contatto del produttore
non disponibile
Persona responsabile
non disponibile