CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications
Lingua: inglese
Editore: Cambridge University Press, 2009
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- Nuovo
Da: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, GermaniaAHA-BUCH GmbH
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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into conventional Si CMOS processing at an unprecedented rate. Presentations collected here focus on understanding, from a chemistry and materials perspective, the mechanism of interface formation and defects at interfaces, for both conventional Si and alternative channel (Ge or III-V) systems. Several papers address reliability concerns for high-k/metal gate (basic physical models, charge trapping, etc.), while others cover characterization of the thin films and interfaces which comprise the gate stack. Topics include: advanced Si-based gate stacks; and alternate channel materials.
Codice articolo 9781605111285
- Titolo
- CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications
- Autore
- Alexander A. Demkov
- Editore
- Cambridge University Press
- Anno di pubblicazione
- 2009
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Buch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 1605111287
- ISBN 13
- 9781605111285
- Peso dell'articolo
- 440 grammi
- Dimensioni
- 235x157x15 mm
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