Fundamental Principles of Optical Lithography : The Science of Microfabrication
Lingua: inglese
Editore: John Wiley & Sons Inc Jan 2008, 2008
- Brossura
- Nuovo
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Neuware - The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components.By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate.This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter.
Codice articolo 9780470727300
- Titolo
- Fundamental Principles of Optical Lithography : The Science of Microfabrication
- Autore
- Chris Mack
- Editore
- John Wiley & Sons Inc Jan 2008
- Anno di pubblicazione
- 2008
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Taschenbuch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 0470727306
- ISBN 13
- 9780470727300
- Peso dell'articolo
- 911 grammi
- Dimensioni
- 244x170x29 mm
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