Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

Harry J. Levinson,Mark A. McCord,Franco Cerrina,Robert D. Allen,John G. Skinner,Andrew R. Neureuther,Martin C. Peckerar,F. Keith Perkins,Michael J. Rooks

ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
Editore: Society of Photo-Optical Instrum, 1997
Lingua: Inglese
Condizione: Usato - Buono Rilegato

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