Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

Lingua: inglese

Editore: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997

0819423785 / 9780819423788

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Titolo
Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
Autore
Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks
Editore
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Anno di pubblicazione
1997
Condizione
Fine
Rilegatura
Hardcover
Lingua
inglese
ISBN 10
0819423785
ISBN 13
9780819423788

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