Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology

Ito Toshio Takumi Ueno Nonogaki Saburo

ISBN 10: 0824799518 / ISBN 13: 9780824799519

Editore: Taylor & Francis Group, 1998

Riguardo questo articolo

pp. 336.

Codice articolo 181527885

Dati bibliografici

• Titolo: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
• Editore: Taylor & Francis Group
• Data di pubblicazione: 1998
• Lingua: Inglese
• ISBN 10: 0824799518
• ISBN 13: 9780824799519
• Rilegatura: Rilegato
• Condizione: New

Descrizione articolo

Riassunto

"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."

Informazioni sull?autore

Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito