Optical Imaging in Projection Microlithography

Lingua: inglese

Editore: SPIE Press, 2005

0819458295 / 9780819458292

Da: moluna, Greven, Germaniamoluna

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An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can .

Codice articolo 2146021731

Titolo
Optical Imaging in Projection Microlithography
Autore
Alfred K. Wong
Editore
SPIE Press
Anno di pubblicazione
2005
Condizione
New
Rilegatura
Einband - flex.(Paperback)
Lingua
inglese
ISBN 10
0819458295
ISBN 13
9780819458292

moluna

Greven, Germania

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