Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Lingua: inglese

Editore: Springer International Publishing Apr 2018, 2018

3319762931 / 9783319762937

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology. 152 pp. Englisch.

Codice articolo 9783319762937

Titolo
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Autore
Youngsoo Shin
Editore
Springer International Publishing Apr 2018
Anno di pubblicazione
2018
Condizione
Neu
Rilegatura
Buch
Lingua
inglese
ISBN 10
3319762931
ISBN 13
9783319762937
Peso dell'articolo
401 grammi
Dimensioni
241x160x14 mm

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Bergisch Gladbach, Germania

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