Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Lingua: inglese

Editore: Springer International Publishing Feb 2019, 2019

3030094553 / 9783030094553

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology. 152 pp. Englisch.

Codice articolo 9783030094553

Titolo
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Autore
Youngsoo Shin
Editore
Springer International Publishing Feb 2019
Anno di pubblicazione
2019
Condizione
Neu
Rilegatura
Taschenbuch
Lingua
inglese
ISBN 10
3030094553
ISBN 13
9783030094553
Peso dell'articolo
242 grammi
Dimensioni
235x155x9 mm

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