Preparation and characterization of low-k material for microelectronics:
Lingua: inglese
Editore: LAP LAMBERT Academic Publishing Okt 2021, 2021
- Brossura
- Nuovo

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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -On the morning of my professional career, as research and development engineer, I had the chance to work at the Institute of Micro Electronic Center (IMEC). This book presents the work I have done from February till September 2007 and its focuses on the investigation of mechanical properties of low-k materials using opto-acoustic technique. Before approaching the opto-acoustic method itself, I practiced the techniques of thin films deposition, plasma treatment and spectro-ellipsometric characterization of materials. Unlike spectro-ellipsometric thin films study, the opto-acoustic characterization requires working with samples which include a transducer material. So, at first, we have designed some samples geometries to be analyzed. The goal of this comparative study (mechanic and acoustic) is not only to establish a correlation between nanoindentation and acoustic wave techniques, but also to determine the factors which best describe mechanical properties of low-k materials. The work has been done in collaboration with the Laboratory of Condensed Matter Physics (LPEC), located in Le Mans (France).VDM Verlag, Dudweiler Landstraße 99, 66123 Saarbrücken 84 pp. Englisch.…
Codice articolo 9786204208480
- Titolo
- Preparation and characterization of low-k material for microelectronics:
- Autore
- Merlin Nsenkoue
- Editore
- LAP LAMBERT Academic Publishing Okt 2021
- Anno di pubblicazione
- 2021
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Taschenbuch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 6204208489
- ISBN 13
- 9786204208480
- Peso dell'articolo
- 143 grammi
- Dimensioni
- 220x150x6 mm
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Emtmannsberg, BAYE, Germania
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Impressum Thorsten Retsch Buchversand Mimpf2000 Oberölschnitz 16 95517 Emtmannsberg Deutschland Telefon: 09209-2023188 Email: mimpf2000@online.de USt-ID-Nr.: DE 235096871 Wir führen gebrauchte Bücher aus allen Sparten der Literatur
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