Preparation and characterization of low-k material for microelectronics: : Possible development of mechanical characterization at submicrometric scales with laser ultrasonics technique
Lingua: inglese
Editore: LAP LAMBERT Academic Publishing, 2021
- Brossura
- Nuovo
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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - On the morning of my professional career, as research and development engineer, I had the chance to work at the Institute of Micro Electronic Center (IMEC). This book presents the work I have done from February till September 2007 and its focuses on the investigation of mechanical properties of low-k materials using opto-acoustic technique. Before approaching the opto-acoustic method itself, I practiced the techniques of thin films deposition, plasma treatment and spectro-ellipsometric characterization of materials. Unlike spectro-ellipsometric thin films study, the opto-acoustic characterization requires working with samples which include a transducer material. So, at first, we have designed some samples geometries to be analyzed. The goal of this comparative study (mechanic and acoustic) is not only to establish a correlation between nanoindentation and acoustic wave techniques, but also to determine the factors which best describe mechanical properties of low-k materials. The work has been done in collaboration with the Laboratory of Condensed Matter Physics (LPEC), located in Le Mans (France).…
Codice articolo 9786204208480
- Titolo
- Preparation and characterization of low-k material for microelectronics: : Possible development of mechanical characterization at submicrometric scales with laser ultrasonics technique
- Autore
- Merlin Nsenkoue
- Editore
- LAP LAMBERT Academic Publishing
- Anno di pubblicazione
- 2021
- Condizione
- Neu
- Rilegatura
- Taschenbuch
- Lingua
- inglese
- ISBN 10
- 6204208489
- ISBN 13
- 9786204208480
- Peso dell'articolo
- 143 grammi
- Dimensioni
- 220x150x6 mm
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Einbeck, Germania
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