Plasma-based technology and materials processes have been central to the revolution of the last half-century in micro- and nano-electronics. From anisotropic plasma etching on microprocessors, memory, and analog chips, to plasma deposition for creating solar panels and flat-panel displays, plasma-based materials processes have reached huge areas of technology. As key technologies scale down in size from the nano- to the atomic level, further developments in plasma materials processing will only become more essential.

Principles of Plasma Discharges and Materials Processing is the foundational introduction to the subject. It offers detailed information and procedures for designing plasma-based equipment and analyzing plasma-based processes, with an emphasis on the abiding fundamentals. Now fully updated to reflect the latest research and data, it promises to continue as an indispensable resource for graduate students and industry professionals in a myriad of technological fields.

Readers of the third edition of Principles of Plasma Discharges and Materials Processing will also find:

Extensive figures and tables to facilitate understanding
A new chapter covering the recent development of processes involving high-pressure capacitive discharges
New subsections on discharge and processing chemistry, physics, and diagnostics

Principles of Plasma Discharges and Materials Processing is ideal for professionals and process engineers in the field of plasma-assisted materials processing with experience in the field of science or engineering. It is the premiere world-wide basic text for graduate courses in the field.

Informazioni sull'autore

Michael A. Lieberman, PhD, is Professor of the Graduate School, Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California Berkeley.

Allan J. Lichtenberg, PhD, was Emeritus Professor of the Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California, Berkeley.

Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.

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Il periodo di recesso scade dopo 14 giorni dal giorno in cui tu o una terza parte, diversa dal vettore e da te indicata, acquisisce il possesso fisico dell'ultimo bene o dell'ultimo lotto o pezzo.

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Per rispettare il termine di recesso, � sufficiente inviare la comunicazione relativa all'esercizio del diritto di recesso prima della scadenza del periodo di recesso stesso.

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In caso di recesso dal presente contratto, ti rimborseremo tutti i pagamenti ricevuti, compresi i costi di spedizione (ad eccezione dei costi supplementari derivanti dalla tua eventuale scelta di un tipo di spedizione diverso dal tipo meno costoso di consegna standard da noi offerto).

Potremo effettuare una detrazione dal rimborso per la perdita di valore dei beni forniti, qualora tale perdita sia il risultato di una manipolazione non necessaria da parte tua.

Eseguiremo il rimborso senza indebito ritardo e non oltre 14 giorni dal giorno in cui saremo informati della tua decisione di recedere dal presente contratto.

Il rimborso sar� effettuato utilizzando lo stesso mezzo di pagamento da te usato per la transazione iniziale, salvo che tu non abbia espressamente concordato altrimenti; in ogni caso, non dovrai sostenere alcun costo quale conseguenza di tale rimborso.

Possiamo trattenere il rimborso finch� non avremo ricevuto i beni oppure finch� non avrai fornito la prova di averli rispediti, a seconda di quale condizione si verifichi per prima.

Dovrai rispedire i beni o consegnarli a Ria Christie Collections, Uxbridge, United Kingdom, senza indebito ritardo e, in ogni caso, entro 14 giorni dal giorno in cui ci hai comunicato la tua volont� di recedere dal presente contratto. Il termine � rispettato se rispedisci i beni prima della scadenza del periodo di 14 giorni. I costi diretti della restituzione dei beni saranno a tuo carico. Sei responsabile solo della diminuzione del valore dei beni risultante da una manipolazione diversa da quella necessaria per stabilire la natura, le caratteristiche e il funzionamento dei beni stessi.

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