STRUCTURE AND ELECTRONIC PROPERTIES OF ULTRATHIN DIELECTRIC FILMS ON SILICON AND RELATED STRUCTURES

D. A. BUCHANAN, IBM T J WATSON RESEARCH CENTER, NEW YORKARTHUR H. EDWARDS, AIR FORCE RESEARCH LABORATORY, U.S.A.H. J. VON BARDELEBEN, UNIVERSITÃ DE PARIS VI (PIERRE ET MARIE CURIE)T. HATTORI, MUSASHI INSTITUTE OF TECHNOLOGY, JAPAN

ISBN 10: 1558995005 ISBN 13: 9781558995000
Editore: Cambridge University Press, 2000
Lingua: Inglese
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