ISBN: 9783662443941 - micro and nano fabrication: tools and processes (9 risultati)

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    Buch. Condizione: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.…

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    Buch. Condizione: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control. 548 pp. Englisch.…

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    Gebunden. Condizione: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Describes the tools required for fabricating MNEMS systemsGives insight into the process technologiesFits for practitioners and students of MNEMSDescribes the tools required for fabricating MNEMS systemsGives insight into .…

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    Editore: Springer, Springer Jan 2015, 2015

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    Buch. Condizione: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.Springer-Verlag KG, Sachsenplatz 4-6, 1201 Wien 548 pp. Englisch.…