Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices
Zhang, Wendong; Chou, Xiujian; Shi, Tielin; Ma, Zongmin; Bao, Haifei; Chen, Jingdong; Chen, Liguo; Li, Dachao; Xue, Chenyang
ISBN 10: 1118717961 ISBN 13: 9781118717967
Editore: John Wiley & Sons, 2017
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Majestic Books, Hounslow, Regno Unito
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Riguardo questo articolo
Descrizione:
pp. 352. Codice articolo 373296097
Riassunto:
A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale
• Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology
• Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories
• Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices
Informazioni sull?autore:
WENDONG ZHANG, North University of China, China
XIUJIAN CHOU, North University of China, China
TIELIN SHI, Huazhong University of Science and Technology, China
ZONGMIN MA, North University of China, China
HAIFEI BAO, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, China
JING CHEN, Peking University, China
LIGUO CHEN, Soochow University, China
DACHAO LI, Tianjin University, China
CHENYANG XUE, Key Laboratory of Instrument Science and Dynamic Measurement, Ministry of Education, China
Le informazioni nella sezione "Su questo libro" possono far riferimento a edizioni diverse di questo titolo.
Dati bibliografici
Titolo: Measurement Technology for Micro-Nanometer ...
Casa editrice: John Wiley & Sons
Data di pubblicazione: 2017
Legatura: Rilegato
Condizione: New
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